測量之程序包括三角測量、三邊測量或精密導線測量(衛星定位測量)、圖根測量、戶地測量、計算面積、製圖。早期測量工具以精密機械構造為主，如經緯儀(測角)、手搖計算機，而竹尺、求積儀、水平儀及計算盤，皆是測量時所必備之工具。嗣後由於電子、光電及衛星科技之進步，陸續發展出電子測距儀、衛星定位儀(GPS)...等高科技設備，有效提高測量精度及品質。
地籍測量儀器
 | 平板儀(1947~至今) 平板儀又稱為圖板，用厚約1.5 公分長方形木板製成，木板下方裝有螺絲孔，以連結三腳架。平板儀是使用測斜照準儀，以照準遠方標竿時使用。 |
 | 光學照準儀(1947~1974) 平板儀因其大小與配件又區分為大平板儀及小平板儀。大平板儀是使用望遠鏡式照準儀（光學照準儀）含直角目鏡，以照準遠方標竿時使用。 |
面積計算
 | 求積儀(1947~1996) 使用於平板測量之計算面積，使用簡便可迅速算出面積，但主要轉動輪經常自紙張及其他平面越過會造成磨損因而降低測量面積之精確度。 |
 | 數化儀(2000~至今) 將圖形由類比形態轉換為數值形態的一種週邊裝置。數化儀包括兩個主要元件，數化平板(Table)及數化器(Cursor)。數化器包含一有十字線的透鏡及一些按鍵。數化儀使用者手持數化器以數化地圖。數化儀平板內的導線接收由數化器傳來訊號，轉換成數化儀的坐標，再傳輸給電腦作處理。 |
測角測距儀器
 | 游標式經緯儀(1950~1968) 按讀數裝置不同區分，度盤直接刻畫於金屬或玻璃版上，利用游標裝置讀數，無法精密。 |
 | 光學經緯儀(1970~1985) 按讀數裝置不同區分，度盤刻畫於玻璃盤面，藉光學組合稜鏡讀數。 |
 | 光波測距經緯儀(1980~1990) 按讀數裝置不同區分，度盤為光柵度盤或絕對編碼度盤，透過紅外線辨識，直接以數字顯示於顯示幕。 |
 | 電子測距經緯儀(1990~至今) 將光波經緯儀加入了測距功能：採雷射測距，可免用稜鏡直接測距，使量距更為簡便。 |
量距儀器
 | 竹尺(1947~1974) 為早期使用之量距工具，使用良好竹材製成，寬約1.5公分，厚約0.3公分，兩段接合處以鐵線或鋼絲纏繞連接，尺長有20、30、50米等多種，於每半公尺處以漆分劃，每5公尺或10公尺註記數值以便記數，並於最末端依公尺內劃分公寸與公分便於量取較精確之距離 |
 | 塑膠尺(1976~1996) 亦稱測繩，尺長有50、100公尺，圖解法距離量測工具，係以麻繩或塑膠製成，多用於長距離測量，工作迅速，但因伸張性大，使用日久，長度不準確，故僅能用於精度不大之量距作業。 |
 | 鋼捲尺(1947~至今) 鋼捲尺為用鋼製成之帶狀捲尺，因其受溫度升降、拉力大小而使尺長變化之影響較小，故可得精確之結果。 |
計算工具
 | 計算尺(1947~1960) 計算尺外觀像把直尺，由上下兩條相對固定的尺身、中間一條可以移動的滑尺和可在尺上滑動的游標三部分組成。游標是一個刻有極細的標線的玻璃片，用來精確判讀。 |
 | 手搖計算機(1947~1960) 手搖計算機最早是由1642年法國巴斯卡利用齒輪傳動原理發明的。1671年德國數學家萊布尼茲使用階梯式圓柱齒輪加以改良。手搖計算機是利用機械原理，來進行加、減、乘、除，乃至混合運算。 |
 | 掌上型計算機(1982~至今) 可隨身攜帶之計算機，具有加、減、乘、除等簡單計算功能。依其計算功能不同，另有工程型或具有儲存資料等功能之掌上型計算機。 |
衛星接收儀
 | GPS(2000~至今) 為最新的測繪技術，藉由接收GPS衛星所發射的電磁波訊號，量測至少4顆衛星與地面接收儀的瞬時距離，利用所得到的瞬時距離，再配合幾何原理求解地面接收儀之三維坐標。 |